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技術(shù)資料
光柵尺檢測與數(shù)據(jù)處理
光柵測量位移的本質(zhì)測量光柵柵距是一個標準的尺子測量位移。高分辨率光柵尺一般成本是昂貴的,并且讓他們。為了提高系統(tǒng)的分辨率,需要對莫爾條紋細分,光柵尺位移傳感器(2006)系統(tǒng)使用電子細分方法。當兩塊光柵與小角重疊,在一個方向垂直于光柵槽大致將產(chǎn)生莫爾條紋的移動與光柵、莫爾條紋是上下移動。因此,晶格間距光柵的測量轉(zhuǎn)化為一個數(shù)量的莫爾條紋測量。在莫爾條紋寬度,根據(jù)一定的間隔放置四個光電裝置可以實現(xiàn)電子部門和判處函數(shù)。例如,網(wǎng)格線的50行/ mm光柵尺,光柵柵距0.02毫米,如果分辨率可以得到經(jīng)過四細分為5微米的計數(shù)脈沖,這是常見的在工業(yè)測量和控制已經(jīng)達到一個非常高的精度。由于位移是矢量,即測試它的大小,并檢驗其方向,因此光電信號的至少兩個不同的道路相。為了消除共模干擾,直流分量和諧波,通常采用低漂移運放組成的差動放大器。得到四個光電傳感器4路光電信號分別兩個差分放大器的輸入,兩路從差動放大器輸出信號相位差的π/ 2,去和計數(shù)脈沖,對兩路信號是塑料,塑料,首先,方波的占空比為1:1。然后,通過比較階段的波的判別,得到移動方向的光柵尺。通過對方波脈沖計數(shù),可以得到位移和速度的光柵尺。
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