磁柵是由捷克人于1958年~1959年研制成**臺(tái)用于測(cè)量齒輪與機(jī)床傳動(dòng)鏈精度的TMO系列磁柵式測(cè)量?jī)x開(kāi)始的。*初的磁柵主要被用作于圓分度測(cè)尺,且只能在動(dòng)態(tài)(勻速運(yùn)動(dòng))的情況下,用于模擬電子系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)。 由于實(shí)際工程應(yīng)用中,直線位移測(cè)量往往比角度和圓分度測(cè)量應(yīng)用更廣,所以繼圓形磁柵之后,又發(fā)展了直線磁柵,也就是我們現(xiàn)在所說(shuō)的磁尺。
雖然捷克也是*早發(fā)展磁尺的國(guó)家,但卻并沒(méi)有取得較大的發(fā)展。60年代初,以SONY公司為代表的一批日本公司,在直線磁柵的刻錄,調(diào)制式讀出磁頭和檢測(cè)系統(tǒng)研制以及工業(yè)應(yīng)用方面都進(jìn)行了系統(tǒng)而深入的研究,并開(kāi)發(fā)出直線和圓形磁柵檢測(cè)裝置系列產(chǎn)品,把磁柵檢測(cè)技術(shù)提高到一個(gè)新的水平。