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光柵尺的工作原理
常見光柵的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的。當(dāng)使指示光柵上的線紋與標(biāo)尺光柵上的線紋成一角度來放置兩光柵尺時(shí),必然會(huì)造成兩光柵尺上的線紋互相交叉。在光源的照射下,交叉點(diǎn)近旁的小區(qū)域內(nèi)由于黑色線紋重疊,因而遮光面積*小,擋光效應(yīng)*弱,光的累積作用使得這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)亮帶。相反,距交叉點(diǎn)較遠(yuǎn)的區(qū)域,因兩光柵尺不透明的黑色線紋的重疊部分變得越來越少,不透明區(qū)域面積逐漸變大,即遮光面積逐漸變大,使得擋光效應(yīng)變強(qiáng),只有較少的光線能通過這個(gè)區(qū)域透過光柵,使這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)暗帶。這些與光柵線紋幾乎垂直,相間出現(xiàn)的亮、暗帶就是莫爾條紋。莫爾條紋具有以下性質(zhì):
(1) 當(dāng)用平行光束照射光柵時(shí),透過莫爾條紋的光強(qiáng)度分布近似于余弦函數(shù)。
2) 若用W表示莫爾條紋的寬度,d表示光柵的柵距 ,θ表示兩光柵尺線紋的夾角,則它們之間的幾何關(guān)系為
W=d/sin (4—15)
當(dāng)角很小時(shí),取sin≈,上式可近似寫成
W=d/θ (4—16)
若取d=0.01mm,θ=0.01rad,則由上式可得W=1mm。這說明,無需復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)和電子系統(tǒng),利用光的干涉現(xiàn)象,就能把光柵的柵距轉(zhuǎn)換成放大100倍的莫爾條紋的寬度。這種放大作用是光柵的一個(gè)重要特點(diǎn)。
(3) 由于莫爾條紋是由若干條光柵線紋共同干涉形成的,所以莫爾條紋對(duì)光柵個(gè)別線紋之間的柵距誤差具有平均效應(yīng),能消除光柵柵距不均勻所造成的影響。
(4) 莫爾條紋的移動(dòng)與兩光柵尺之間的較于移動(dòng)較于應(yīng)。兩光柵尺較于移動(dòng)一個(gè)柵距d,莫爾條紋便相應(yīng)移動(dòng)一個(gè)莫爾條紋寬度W,其方向與兩光柵尺較于移動(dòng)的方向垂直,且當(dāng)兩光柵尺較于移動(dòng)的方向改變時(shí),莫爾條紋移動(dòng)的方向也隨之改變。
根據(jù)上述莫爾條紋的特性,假如我們?cè)谀獱枟l紋移動(dòng)的方向上開4個(gè)觀察窗口A,B,C,D,且使這4個(gè)窗口兩兩相距1/4莫爾條紋寬度,即W/4。由上述討論可知,當(dāng)兩光柵尺較于移動(dòng)時(shí),莫爾條紋隨之移動(dòng),從4個(gè)觀察窗口A,B,C,D可以得到4個(gè)在相位上依次超前或滯后(取決于兩光柵尺較于移動(dòng)的方向)1/4周期(即π/2)的近似于余弦函數(shù)的光強(qiáng)度變化過程 。若采用光敏元件來檢測(cè),光敏元件 把透過觀察窗口的光強(qiáng)度變化轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電壓信號(hào) ,設(shè)為。根據(jù)這4個(gè)電壓信號(hào),可以檢測(cè)出光柵尺的較于移動(dòng)
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